闡述了微電子工業(yè)芯片制造而產(chǎn)生的含氟廢水、硅片研磨廢水以及純水處理高純水設(shè)備再生所產(chǎn)生的高濃度酸堿廢水的處理方法,特別對含氟廢水的處理作了大膽的嘗試,取得了明顯的成效.對高純水設(shè)備處理后的合格廢水回收用作工藝設(shè)備及動力設(shè)備的冷卻水,利用高純水設(shè)備產(chǎn)生了良好的經(jīng)濟效益和社會效益.